Наш лазер для фотолитографа

Эксимерный лазер — разновидность ультрафиолетового газового лазера, широко применяемая в глазной хирургии (лазерная коррекция зрения) и полупроводниковом производстве.

До сих пор лазеры для литографов в России не выпускались. Хотя первый в мире эксимерный лазер был изобретен в 1970-м, а представлен в 1971 году Николаем Басовым и его сотрудниками в Физическом институте им. П. Н. Лебедева РАН в Москве. В настоящее время в мире серийным выпуском таких лазеров занимаются всего лишь две компании — японская GigaPhoton и американская Cymer.

В компании «Лассард» разработка таких лазеров ведется еще с 2021 года. Как рассказал в интервью нашему журналу в 2023 году генеральный директор группы компаний «Лассард» (в нее входит одноименная компания «Лассард» и компания «Оптосистемы») Олег Нефедов, к тому времени компания «Оптосистемы» уже сделала два макета таких лазеров. «Теперь у нас есть продукт, который реально можно продавать в больших количествах. Если Китай реализует все свои программы в области микроэлектроники, для нас это будет, я думаю, очень мощный рынок», — рассказывал нам тогда Нефедов.

К сожалению, остановились тогда на макетах*. Перейти от макета к опытному образцу** было невозможно из-за отсутствия отечественных литографов.

Разработка и производство лазеров, приборов и установок на их основе — одно из тех направлений науки и промышленности, в которых мы были на самых передовых позициях в мире еще с советских времен. Их научная основа — квантовая электроника, сами лазеры и разнообразные лазерные установки и приборы — в значительной степени были созданы усилиями советских ученых. Достаточно назвать такие имена, как Фабрикант, Басов, Прохоров, Алферов, Стельмах.

Группа компаний «Лассард» успешно продолжает эту традицию. Их лазеры, лазерные станки и лазерное медицинское оборудование известны не только в России, но и в других странах.

А вот отечественные литографы так и не появились до сих пор, о чем мы неоднократно писали в нашем журнале.

Сегодня литографические установки в России разрабатывают в двух научных организациях: в Зеленоградском нанотехнологическом центре и в Институте физики микроструктур РАН в Нижнем Новгороде. В Зеленограде ориентируются на топологические нормы 130, 90 и 65 нм. А в Нижнем работают над достижением 10 нм. Отметим, что каждая такая установка предназначена для своего технологического процесса. И их появление обеспечит успешное развитие в России самой разной микроэлектроники, необходимой как для машиностроения, так и для потребительской электроники вроде тех же гаджетов. Тем самым у России остаются шансы стать третьей страной в мире, где налажено производство эксимерных лазеров.

* Макет — это упрощенное воспроизведение изделия, по эскизной документации, созданное для демонстрации принципа работы, оценки правильности принятых инженерных решений.

** Опытный образец — это первый экземпляр изделия, изготовленный уже по рабочей документации для проверки соответствия заданным техническим требованиям путем испытаний. Его главная задача — подтвердить работоспособность, проверить конструкцию, технологию производства, параметры и готовность к запуску в серийное производство.