Рельеф для кремниевой пластины

Исследователи предлагают формировать кремниевые наноструктуры с помощью наносферной литографии и установки плазмохимического травления. Установка почти полностью состоит из отечественных деталей. Проект специалистов СПбПУ поддержан программой Минобрнауки России «Приоритет 2030» (реализуется в рамках нацпроекта «Наука и университеты»).

Разработанная технология имеет еще одно возможное применение. Кремниевые наноиглы, которые изготавливаются при помощи установки плазмохимического травления, представляют особый интерес для создания электровакуумных приборов.

«Классическим примером электровакуумных приборов является трубка кинескопа, — рассказал “Стимулу” руководитель проекта, заведующий научно-исследовательской лабораторией “Технологии материалов и изделий электронной техники” Центра НТИ СПбПУ, кандидат технических наук Артем Осипов. — Электровакуумные приборы используются для генерации, усиления и преобразования электромагнитной энергии. Несмотря на то что на сегодняшний день большинство электронных устройств работает на транзисторах, есть определенные отрасли промышленности, в которых невозможна замена электровакуумных ламп благодаря их уникальным свойствам. Среди них широкий частотный диапазон и усиление сигнала без его искажения. В данном случае наноиглы являются автоэмиссионным катодом, то есть испускают электроны под действием электрического поля без предварительного возбуждения электронов, в отличие от термоэмиссионных катодов».