Инновации 1 декабря 2024

Шанс для русского литографа

Российские ученые разработали собственную концепцию развития высокопроизводительной рентгеновской литографии. Она основана на ряде инновационных решений, которые приведут к снижению энергетики литографа, уменьшению его габаритных размеров, стоимости оборудования и его использования примерно на порядок
Шанс для русского литографа
Здание Института физики микроструктур (ИФМ) РАН
ИФМ РАН


Эта статья заведующего отделом Института физики микроструктур (ИФМ) РАН, доктора физико-математических наук Николая Чхало является продолжением обсуждения разработки в России новейшего EUV-фотолитографа — важнейшей установки, необходимой для изготовления микропроцессоров. Ранее эта тема была затронута в его интервью нашему журналу. На этот раз Николай Иванович рассказывает о новых подходах ИФМ к созданию таких установок, которые позволяют существенно облегчить их разработку и изготовление. Статья является кратким изложением препринта.

Получите доступ к полному тексту материала
Еще по теме:
06.03.2026
В Петербурге 5 марта представили трехнедельного бычка Протоса. Это первый приплод, полученный в рамках программы создани...
01.03.2026
Выпускник химфака МГУ изобрел новый способ улучшения качества жизни диабетиков
26.02.2026
Американский стартап Taara представил инновационную технологию компактных устройств беспроводной оптической связи с заяв...
18.02.2026
Обвал биткоина — это симптом перераспределения вычислительной и политической власти внутри всей криптоиндустрии. Флагман...
Наверх