Получите доступ к полному тексту материала
Инновации
1 декабря 2024
Шанс для русского литографа
Российские ученые разработали собственную концепцию развития высокопроизводительной рентгеновской литографии. Она основана на ряде инновационных решений, которые приведут к снижению энергетики литографа, уменьшению его габаритных размеров, стоимости оборудования и его использования примерно на порядок
Здание Института физики микроструктур (ИФМ) РАН
ИФМ РАН
Эта статья заведующего отделом Института физики микроструктур (ИФМ) РАН, доктора физико-математических наук Николая Чхало является продолжением обсуждения разработки в России новейшего EUV-фотолитографа — важнейшей установки, необходимой для изготовления микропроцессоров. Ранее эта тема была затронута в его интервью нашему журналу. На этот раз Николай Иванович рассказывает о новых подходах ИФМ к созданию таких установок, которые позволяют существенно облегчить их разработку и изготовление. Статья является кратким изложением препринта.
Еще по теме:
25.06.2026
Ту-144 стал первой в истории гражданской авиации серийной машиной, преодолевшей звуковой барьер. Гонка за первенство с а...
16.06.2026
Третья революция в производстве еды — создание микробного белка из метана в промышленных масштабах — разворачивается в К...
11.06.2026
Биткоин сделал из розетки шахту, но ИИ снова превращает ее в фабрику. Пока крипта доказывает свою редкость через расход ...
10.04.2026
Американская компания Anthropic, один из ведущих мировых разработчиков моделей ИИ, 7 апреля объявила о запуске проекта G...
Наверх